(주)고영테크놀러지

가산디지털2로 53 한라시그마밸리에 있는 ㈜고영테크놀러지는 색수차 보상방법, 이를 이용한 3차원 형상 측정방법 및 측정장치에 관한 특허등록을 마쳤다.

이 발명은 광의 기준위상변화량, 녹색광의 기준위상변화량 및 청색광의 기준위상변화량을 획득하는 단계와, 적색광의 평균인텐시티, 녹색광의 평균인텐시티 및 청색광의 평균인텐시티를 획득하는 단계 및 상기 적색광의 기준위상변화량, 상기 녹색광의 기준위상변화량 및 상기 청색광의 기준위상변화량과 상기 적색광의 평균인텐시티, 상기 녹색광의 평균인텐시티 및 상기 청색광의 평균인텐시티를 이용하여 페이스 오프셋을 구하는 단계를 포함한다. 따라서, 기판과 기판에 형성된 측정대상물과의 색상차이에서 오는 색수차를 보정하여 보다 정확한 3차원 형상을 측정할 수 있다.