(주)나노텍

금천구 벚꽃로 286, 리더스 타워 409호 위치한 (주)나노텍은 광센서를 이용한 센서부를 마련하여, 상기 센서부를 유리기판 위를 흐르는 식각액의 유막에 떠있도록 설치한 습식공정 모니터링 장치 및 방법에 관한 특허등록을 마쳤다.

 
이 발명의 습식공정 이상 여부를 검출하는 습식공정 모니터링 장치는, 표면장력을 이용하여 식각액의 유막에 위치하는 센서부 및 상기 센서부를 지지하는 웨이트 발란서와 센서부 지지장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 광센서를 습식식각장비 내부의 상단이 아닌, 유리기판과 가까운 장비의 측면에 센서부 지지장치를 이용하여 장착하고 센서부가 유막에 표면장력을 이용하여 떠있도록 하기 때문에, 식각액의 표면에 나타나는 불균일한 유막에 빛이 산란되어 발생하는 측정치의 오차를 사전에 방지할 수 있고 데이터의 신뢰도, 정확도가 향상되는 효과가 있다.

저작권자 © 넥스트미디어 무단전재 및 재배포 금지