(주)나노텍
금천구 벚꽃로 286, 리더스 타워 409호 위치한 (주)나노텍은 광센서를 이용한 센서부를 마련하여, 상기 센서부를 유리기판 위를 흐르는 식각액의 유막에 떠있도록 설치한 습식공정 모니터링 장치 및 방법에 관한 특허등록을 마쳤다.
(주)나노텍
금천구 벚꽃로 286, 리더스 타워 409호 위치한 (주)나노텍은 광센서를 이용한 센서부를 마련하여, 상기 센서부를 유리기판 위를 흐르는 식각액의 유막에 떠있도록 설치한 습식공정 모니터링 장치 및 방법에 관한 특허등록을 마쳤다.