슈퍼컴퓨터는 최근 자동차, 전자 등 주요 산업분야에서 슈퍼컴퓨팅을 활용한 제품 설계와 해석이 연구개발 기반기술로서 그 중요성이 매우 커지고 있다. 산업계는 경쟁력 향상을 위해 고기능과 고정밀도, 고신뢰도의 제품설계가 당면과제다. 그 역할을 슈퍼컴퓨터와 응용소프트웨어가 맡고 있다. dvn<감탄시대> 다양한 활용사례를 제공함으로써 기업들이 슈퍼컴퓨터를 적극 사용할 수 있도록 할 예정이다.

 

TCP(Transformer Coupled Plasma) 3D 정렬 직교 Heating simulator 개발

 

대상업체 (주)경원테크
기술지원 전문가 한국과학기술정보연구원(KISTI)/ 충북대학교
사용 소프트웨어 CFD-ACE+
슈퍼컴퓨팅 지원 IBM p690(2,000시간)

 

기술개발의 배경 및 목적
⦁플라즈마원의 설계 프로그램의 부재로 인해 반도체 제조 장비 관련 전문 인력이 활용할 수 있는 시뮬레이터의 필요성 증가
⦁ 고가의 외산 시뮬레이터에 대응할 수 있는 국산 프로그램의 개발 및 국내 시장 선점
⦁ 수백만개의 격자를 가진 플라즈마 해석을 위해 슈퍼컴퓨터를 활용한 공학해석 수행


기술개발 방법
⦁ TCP 3D Heating simulator
⦁ Non local heating mechanism
⦁ Mode excitation method
⦁ Self consistent 0D transport


기술개발 의의
⦁ 반도체 플라즈마원 설계 및 국내 해석 tool 확보
⦁ 반도체 공정 전문인력 양성을 위한 교육 프로그램 설계 용이
⦁ 개발기간 단축


향후계획
- 3D Transport 개발
- Heating code와 Transport code의 연계
- FVM code로 확장
- CAD 파일 import

 

기술개발의 효과

슈퍼컴퓨터 활용 효과                      개발비용               /        개발시간
                                        ●활용전 | 12,000만원         /        12개월
                                        ●활용후 | 10,000만원         /        10개월
                                        ●감소율 | 16.7%                /        16.7%

산업파급효과                       ●매출증대율 | 20%
                                        ●해석 tool 제작 및 검증 비용의 절감효과 : 20,000만원 정도
                                        ●생산예정 | 산업재산권 : 국내특허 1건, 국제특허 1건

 

기술개발 결과

 

 

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