가산동 서울디지털2단지 한신IT타워2차에 있는 (주)에이치아이티에스(대표 이선열 http://www.highimage. co.kr)는엘이디 소자의 검사 장치에 관한 특허등록을 마쳤다. 

 

이 발명은 엘이디 칩을 구비하는 엘이디 패키지와 엘이디 패키지가 실장되는 기판을 포함하는 엘이디 소자의 검사 장치다. 제1 측정부는 기판의 표면에 접촉해 기판의 표면을 제1 높이로 센싱하고, 제2 측정부는 엘이디 패키지의 엘이디 칩 상에 형성되는 인캡슐런트 구조물의 표면에 접촉해 인캡슐런트 구조물의 표면을 제2 높이로 센싱한다. 연산부는 제1 측정부와 제2 측정부 각각으로부터 제1 높이와 제2 높이를 입력받아 높이의 차이를 측정 높이로 연산한다. 판독부는 제1 높이와 제2 높이의 차이에 대한 기준 높이가 입력돼 있고, 기준 높이와 연산부로부터 입력받는 측정 높이를 비교해 측정 높이가 기준 높이 오차 범위를 벗어날 경우 해당 엘이디 패키지를 불량으로 판독한다.