(주)한국세라믹기술원

 
가산동에 있는 한국세라믹기술원(원장 김민 http://kicet.re.kr)는 ＭＥＭＳ 타입의 압전 에너지 하베스터에 관한 특허등록을 마쳤다.

이 발명은 반도체 기판에 정류 회로를 내장하는 것을 통해 얇은 구조에 집적도가 향상되면서도 에너지 변환 효율이 우수한 MEMS 타입의 압전 에너지 하베스터에 대해 개시한다.

MEMS 타입의 압전 에너지 하베스터는 캐비티를 구비한 반도체 기판 일단이 고정되며, 이 일단으로부터 캐비티 내로 연장돼 진동 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 압전막을 구비한 캔틸레버, 반도체 기판의 하면에 부착돼 압전막을 구비한 캔틸레버와 전기적으로 연결되는 정류 소자, 정류된 전기 에너지를 저장하는 충전 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

저작권자 © 넥스트미디어 무단전재 및 재배포 금지