가산디지털2로 한라시그마 벨리에 입주한 ㈜고영테크놀러지가 3차원형상 측정방법에 대한 특허를 승인받았다.

3차원형상 측정방법은 먼저 데이터베이스로부터 특징정보를 불러온다. 이어서, 보드를 측정위치로 옮긴 후, 측정헤드를 보드의 검사영역으로 이동시킨다. 3차원 측정을 위한 제1조명과 2차원 측정을 위한 제2조명을 검사영역에 조사해 반사된 제1반사 이미지와 제2반사 이미지를 촬영한다. 다음으로, 특징정보와 측정된 제1반사 이미지와 제2반사이미지 중 하나 이상을 비교해 검사영역의 왜곡을 검사하고 영역을 재설정한다. 재설정된 검사영역을 검사하면 3차원형상을 정확하게 측정할 수 있다.