이 발명은 적은비용으로 효율적인 검사가 가능한 패턴층이 형성된 기관의 패턴검사방법 과 패턴검사장치에 관한 것이다.
검사장치의 원리는 패턴층이 형성된 기판상에 ‘기판은 투과하고 패턴층은 투과하지 않는 범위 내의 파장’인 제1파장을 조사하는 단계와 기판을 투과한 제1파장광을 검출하는 단계로 구성된다.
이 발명은 적은비용으로 효율적인 검사가 가능한 패턴층이 형성된 기관의 패턴검사방법 과 패턴검사장치에 관한 것이다.
검사장치의 원리는 패턴층이 형성된 기판상에 ‘기판은 투과하고 패턴층은 투과하지 않는 범위 내의 파장’인 제1파장을 조사하는 단계와 기판을 투과한 제1파장광을 검출하는 단계로 구성된다.